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在等離子區(qū)強(qiáng)電場作用下,氮和氫的正離子以高速向工件表面轟擊。離子的高動能轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?,加熱工件表面至所需溫度。由于離子的轟擊,工件表面產(chǎn)生原子濺射,因而得到凈化;同時由于吸附和擴(kuò)散作用,氮遂滲入工件表面,形成滲氮層。
與氣體滲氮相比,具有滲氮速度快、滲氮層組織易于控制、脆性小、無環(huán)境污染、節(jié)約電能、變形小等優(yōu)點。